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測(cè)量分辨的頻率變化

＋0.05Hz

＋0.05Hz

測(cè)量區(qū)間

0.25秒

0.25秒

厚度和速率分辨/測(cè)量

0.06A,在工具/密度＝100

0.06A,在工具/密度＝100

基頻＝6MHz

基頻＝6MHz

支持XTAL2轉(zhuǎn)換

是

是

計(jì)算機(jī)通訊

RS232標(biāo)準(zhǔn),以太網(wǎng)TCP/IP選件

RS232標(biāo)準(zhǔn),以太網(wǎng)TCP/IP選件

最大RS232波特率

115.2千波特

115.2千波特

繼電器數(shù)

12標(biāo)準(zhǔn), 無(wú)事例可指定

12標(biāo)準(zhǔn), 事例可指定

可編程繼電器功能數(shù)

1

1

每個(gè)繼電器功能

1

1

繼電器電壓額定值

30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流

30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流

42V峰,在2.5安

42V峰,在2.5安

輸入數(shù)

8TTL, 24伏直流最大

8TTL, 24伏直流最大

可編程輸入功能數(shù)

1, 無(wú)事例可指定

1, 事例指定

記入儀輸入數(shù)

1

1

手動(dòng)電源/手持控制器

是

是

排風(fēng)扇

無(wú)

無(wú)

測(cè)試模式

是

是

擋光器延遲

是

是

次級(jí)工具

是

是

最大允許相移頻率

1.0 MHz

1.0 MHz

機(jī)箱尺寸

1/2機(jī)架,2U高度

1/2機(jī)架,2U高度

速率和膜厚顯示分辨

0.1A秒, 從0.0至99.9A/秒;1A/秒, 從

100至999A/秒

0.1A秒, 從0.0至99.9A/秒;1A/秒, 從

100至999A/秒

顯示膜厚分辨=1A

顯示膜厚分辨=1A

通過(guò)輸入選擇鍍層

是

否

用戶指導(dǎo)語(yǔ)言

英文，中文

英文，中文

控制環(huán)

       PID

PID

數(shù)據(jù)登錄

是

是

質(zhì)量和穩(wěn)定性功能

是

是

樣品和保持

是

是

坩堝選擇

是

是

坩堝反饋輸入

是

是

選擇控制電壓極性

是，+/-2.5，5，10伏

是，+/-2.5，5，10伏

15-位分辨率

15-位分辨率

程序鎖定碼

        是

        是

用戶標(biāo)簽過(guò)程/鍍層

        否

        是

XTC/2 RS232通訊兼容性

是（有限的）

是（有限的）