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儀器簡(jiǎn)介：

德***徠卡(LEICA)在智能數(shù)字式金相顯微鏡DM4000M基礎(chǔ)上提供了6英寸的移動(dòng)平臺(tái),適合半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)硅片檢查的要求.智能化的操控與光學(xué)品質(zhì)的結(jié)合為半導(dǎo)體行業(yè)提供高效率的工具.

技術(shù)參數(shù)：

• 智能型操作, 智能型照明,
• 恒定色溫, 圖像無(wú)顏色差別
• 反射光明場(chǎng), 暗場(chǎng), 偏光, 微分干涉, 熒光
• 透射光明場(chǎng), 暗場(chǎng), 微分干涉
• M32 六位物鏡轉(zhuǎn)換
• 專用平場(chǎng)消色差, 平場(chǎng)半復(fù)消色差暗場(chǎng)物鏡, 平場(chǎng)復(fù)消色差暗場(chǎng)物鏡,
• 可接顯微硬度儀, 繪圖儀, 宏觀儀
• 可接微分干涉臺(tái)階儀進(jìn)行高精度測(cè)量
• CCD或照相系統(tǒng),
• 與多種顯微圖像分析軟件共用
• 可升***為其他觀察方法
• 無(wú)限遠(yuǎn)光路

主要特點(diǎn)：

1,智能型按鍵操作, 實(shí)現(xiàn)型照明,智能CICC技術(shù)使色溫恒定, 圖像無(wú)顏色差別,更可***記憶并恢復(fù)已觀察的條件
2,光強(qiáng),光欄,反射光模塊液晶顯示屏,顯示即時(shí)狀態(tài)
3,手動(dòng)調(diào)焦
4,6英寸硅片專用機(jī)械載物臺(tái),可配電動(dòng).