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Park NX12

可提供多功能原子力顯微鏡平臺滿足納米***測量的需求

- 原子力顯微鏡（AFM)有納米***分辨率成像以及電，磁，熱和機器性能測量的能力。

- 納米管掃描系統可用于高分辨率掃描離子電導顯微鏡（SICM)。

- 倒置光學顯微鏡（IOM）便于透明材料研究和熒光顯微鏡***體化。

通過驗證的NX10性能

通過倒置光學顯微鏡樣品平臺，Park NX12將Park原子力顯微鏡的多功能性和準確性相結合。這使得使用者更容易的使用納米管技術去研究透明，不透明，或軟或硬的樣品。

電化學測試的絕佳平臺

電池，燃料電池，傳感器和腐蝕等電化學研究是個快速增長的領域，然后許多原子力顯微鏡不能直接滿足其特殊的需求。Park NX12的人性化設計，為快速操作提供便利，從而達到化學研究人員要求的功能性和靈活性。這主要包括：

• 多功能易用電化學池

• 惰性氣體和濕度的環境控制選項

• 雙恒電位儀的兼容性

研究人員可利用NX12平臺實現各種電化學應用：

• 掃描電化學顯微鏡(SECM)

• 掃描電化學池顯微鏡(SECCM)

• 電化學原子力顯微鏡（EC-AFM）和電化學掃描隧道顯微鏡( EC-STM)

多用戶設備

Park NX12完全重新構建，以適應多用戶設備需求。其他原子力顯微鏡解決方案缺乏必要的多功能性，難以滿足該設備中用戶的多重需求，很難合理控制設備成本。然而，Park NX12旨在能夠容納標準環境原子力顯微鏡成像，液體掃描探針顯微鏡，光學和納米光學成像，使其成為*靈活的原子力顯微鏡。

多功能應用

Park NX12功能廣泛，包括液體中的PinPoint ?和納米力學，倒置光學顯微鏡定位透明樣品，離子電導顯微鏡超軟樣品成像，以及改善透明樣品光學性能的可視性。

綜合性的力譜方法

Park NX12提供了***種在液態和空氣中的納米力學表征的完整解決方案，使其成為廣泛應用中的理想選擇。

模塊化

NX12模塊化設計不僅安裝簡單且兼容性強，可以滿足研究人員的各種實驗需求。

Park NX12可用于任何***個項目

NX系列的眾多掃描模式和模塊化設計使它可輕松地適應任何***個掃描探針顯微鏡的需求。

- 標準成像

• 真正的非接觸模式AFM

• 接觸模式AFM

• 側向力顯微鏡（LFM)

• 相位成像

• 輕敲式AAFM

-電性能

• 導電AFM

• I-V譜線

• 掃描開爾文探針顯微鏡（SKPM/KPM)

• 高電壓SKPM

• 掃描電容顯微鏡（SCM)

• 掃描電阻顯微鏡（SSRM)

• 掃描隧道顯微鏡 （STM)

• 掃描隧道光譜 （STS)

• 時間分辨的光電流測繪 （Tr-PCM)

- 磁性能

• 磁力顯微鏡 （MFM)

• 可調外加磁場MFM

  
  

-化學性能

• 掃描電化學池顯微鏡（SECCM)

• 掃描電化學顯微鏡 （SECM)

• 電化學顯微鏡(EC-STM和EC-AFM)

• 功能化探針的化學力顯微鏡

• 
  

-熱性能

• 掃描熱感顯微鏡(SThM)

-光學性能

? 探針增強拉曼光譜 (TERS)

? 時間分辨的光電流測繪 （Tr-PCM)

-介電/壓電性能

• 靜電力顯微鏡 （EFM)

• 動態接觸式靜電力顯微鏡（DC-EFM)

• 壓電力顯微鏡 （PFM)

• 高電壓PFM

-機械性能

• Pinpoint納米力學映射

• 力調制顯微鏡 （FMM)

• 納米壓痕

• 納米刻蝕

• 高電壓納米刻蝕

• 納米操縱

• 壓電力顯微鏡 （PFM)

-力測量

• 力－距離（F-D)光譜

• 力－體積成像

• 熱噪聲法標定彈性系數

1. 高樣品   1.5 μm臺階高度

   掃描模式：非接觸模式，Z位置傳感器形貌圖

2. 平樣品 藍寶石晶圓的原子臺階 0.3nm臺階高度，掃描模式：非接觸模式，Z位置傳感器形貌圖

3. 硬樣品 鎢膜

      掃描模式：非接觸模式，Z位置傳感器形貌圖

 4. 軟樣品 膠原原纖維

   掃描模式：非接觸模式，Z位置傳感器形貌圖

 選項

范圍廣泛的環境控制選項包括了多功能電化學池，控溫臺和濕度控制的手套箱.

- 電化學池

• 電化學池

• 通用液池的電化學工具包

 - 化學選項

• 恒電位儀

• 雙恒電位儀

- 環境控制選項

• 手套箱

• 活細胞箱

- 控溫臺 

•  控溫臺(-25 ~180度)

•  250度加熱臺

•  600度加熱臺

- 磁場發生器

•  平行于樣品表面的外加磁場

•  可調磁場

•  范圍：~300 gauss

- Z掃描頭

• 15 μm AFM  Z 掃描頭

• 30 μm AFM  Z 掃描頭

• 15 μm SICM 模塊 Z掃描頭

• 30 μm SICM 模塊 Z掃描頭

- 液態成像選項

•  液態探針柄

•  開放式液池

•  通用液池

- 隔音罩

•  獨立型 AE 204

•  獨立型 AE 301

- 夾式芯片載體

•  可用于未裝載懸臂

•  可用于導電式 AFM和EFM的針尖偏壓功能

•  針尖偏壓范圍：-10 V ~ 10 V

 - 高***模式的初學者工具包

•  易使用的高***模式

•  包括特定探針和樣品

Park NX12

規格

掃描器

Z掃描器

AFM 掃描頭

柔性引導高推動力掃描器

掃描范圍：15μm(可選 30μm)

SICM 掃描頭

多層壓電疊層驅動器驅動的柔性引導結構

掃描范圍：15μm(可選 30μm)

XY 掃描器

閉環控制的柔性引導XY掃描器

Scan range: 100*100μm

掃描范圍：100μm ×100μm

驅動臺

XY 驅動臺行程范圍: 50 mm x 50 mm

Z 驅動臺行程范圍: 25 mm

聚焦驅動臺行程范圍: 15 mm

影像

樣品表面和懸臂的直觀同軸影像

視野: 840 μm × 630 μm (10倍物鏡)

攝像頭: 5 M Pixel (默認), 1M Pixel (可選)

物鏡

10倍 (NA. 0.23) 超長工作距離鏡頭

20倍 (NA. 0.35) 高分辨率，長工作距離鏡頭

電子信號處理

ADC: 18 通道

24-bit ADC 的 X, Y 和 Z 掃描器位置傳感器

DAC: 17 通道

20-bit DAC的 X, Y 和 Z 掃描器定位

集成功能

3通道數字鎖相放大器

彈性系數校準(熱方法)

數據Q 控制