KSI V300E 單探頭超聲波掃描顯微鏡
1.掃描機械機構
Ø X軸和Y軸驅動系統(tǒng)全是磁懸浮高速線性電機
Ø *X、Y軸有效掃描區(qū)域：300mm×300mm
Ø *X、Y軸掃描速率：2m/s
Ø X、Y軸掃描加速度：30m/s2
Ø X、Y軸的重復精度：±0.1um
Ø 掃描驅動裝置Z軸：自鎖步進馬達
Ø Z軸的重復精度：±0.25um
Ø 具有自動對焦功能
Ø Z軸升降行程：100mm
2.脈沖信號收發(fā)器和換能器
Ø 掃描工作模式：單通道工作模式
Ø 脈沖信號收發(fā)器帶寬：5MHz～500MHz
Ø 射頻總增益：72dB，以1dB/步增減調節(jié)
Ø *換能器要求及數量：
15MHz/f=0.75” 1個 ，檢測TO封裝等的厚型塑封器件
30MHz/f=12.7mm 1個 ，檢測常規(guī)的塑封器件
40MHz/f=20mm 1個 ，檢測IGBT等大功率模組
110MHz/f=8mm 1個 ，檢測Flipchip/BGA等薄型器件
175MHz/f=8mm 1個 ，檢測*新型結構的器件或新設計
透射模組（含20MHz接收探頭） 1套，用來做IC的快速批量檢測或PCB板的檢測
Ø 模數轉換卡ADC 1GHz
Ø 聲學圖像放大倍數大于200×
3.樣品槽/工裝/過濾系統(tǒng)
Ø 樣品槽尺寸： 546mm×860mm×120mm（W×D×H）
Ø 機器內含自凈過濾系統(tǒng)
4.軟件
4.1控制軟件KSI VISION
Ø 軟件界面語言：英文
Ø 掃描模式：
1) 點掃描(A-Scan)
2) 縱剖掃描(B-Scan)
3) 橫剖掃描(C-Scan)
4) 斜剖掃描(D-Scan)
5) 多層橫剖掃描(X-Scan)
6) 多配置多層橫剖掃描(G-Scan)
7) 序列掃描(Sequence-Scan)
8) 自動掃描(Auto-Scan)
9) 3D掃描(3D-Scan)
10) Z掃描(Z-Scan)
11) 高質量掃描(HQ-Scan)
Ø 保存圖像格式：BMP、JPG、及保存所有尺寸及聲波信號的原始聲學圖像格式(SAM、SAZ)；
Ø 圖像采樣像素：32000×32000像素
Ø 采樣分辨率：1um （1000像素/毫米）
Ø *小門限時間：2ns
Ø 軟件主要功能：
1) 掃描過程中調節(jié)增益、門限時間、門限位置、門限延遲；
2) 厚度和距離測量
3) 分層缺陷著色
4) 掃描圖像復位功能，輕松重構超掃圖像； l
5) 3D圖像
6) 設置參數均會自動存儲，包括：A波形圖、功率設置、增益、數字門限延遲、門限寬度；
7) 閾值、正負波峰相位檢測包括：幅值、均值、雙極；
8) 被測樣品掃描尺寸和定位選擇、相位檢測、表面跟蹤、采樣圖像分辨率選擇；
*4.2 三維圖像掃描/旋轉/剪切軟件包KSI 4D VOLUME
Ø 能對聲學圖像進行三維掃描、旋轉、剖切等處理，直觀地再現被測樣品的空間感。
*4.3 二維圖像分析軟件包 KSI VSION VIEW
Ø 易用的圖像分析軟件包KSI VSION VIEW，包括缺陷面積百分比統(tǒng)計、著色處理等常用的聲學圖像分析功能；
5.工控機配置：
Ø Intel酷睿雙核處理器，核心頻率大于2.6GHz
Ø 正版Windows10操作系統(tǒng)英文版
Ø 24寸 平板顯示器 2個
Ø 128GB固態(tài)硬盤 + 1000 GB 機械硬盤
Ø 8 GB RAM 內存
可選配置包括如下：
① 能壓制水花的防誤判低噪探頭，從5MHz, 10MHz, 30MHz, 40MHz, 50MHz ………….230MH, 300MHz,330Hz,400MHz可選 （共200個多，機器標配已含15MHz探頭1個
② 二維圖像缺陷分析軟件包Ksi vision View
③ 三維圖像缺陷分析軟件包Ksi Volume4D
④ 主控軟件離線版 Ksi Vision （該軟件也可以在普通辦公電腦上運行）
⑤ 透射探頭套裝
⑥ 雙顯示器配置
⑦ 定制特殊樣品臺
滬公網安備31011502016460號
