產品簡介

CL系列 分為CL-4，CL-6，CL-8三個規格

CL系列探針臺測量精度高，操作方便，符合人機工程學。主要應用于半導體行業以及光電行業的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發。

參數規格

CL系列總體規格特點                                                                                       

●  重量:

         CL-4 50KG左右（帶顯微鏡）

         CL-6 60KG左右（帶顯微鏡）

         CL-8 80KG左右（帶顯微鏡）

●  尺寸：

         CL-4約 560mm寬*610mm長*550mm高（帶顯微鏡）  

         CL-6 約600mm長*650mm寬*600mm高（帶顯微鏡）

         CL-8 約640mm長*720mm寬*620mm高（帶顯微鏡）

CL系列探針座臺面規格

●  探針臺臺面平整度：5μm。

●  CL-4臺面可以同時容納8-10個探針座

    CL-6，CL-8分別可以同時容納10-12個探針座

    CL-12臺面可以同時容納12個以上探針座

卡盤（載物臺）規格  （可選配鍍金卡盤，高溫加熱卡盤）

●  卡盤尺寸分為4" ，6"，8"三種

卡盤平整度：5μm，采用空吸附方式吸附，帶空吸附孔，中心孔徑小可做到250微米（可根據客戶需求定制孔徑大小），小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，大能夠吸住尺寸為4"X4"（6"X6"，8"X8"）。

●  卡盤可30度旋轉，方便點測時樣品在X-Y軸方向上調平。（根據客戶需要可定制為360度旋轉，旋轉角度可微調，微調精度為0.1度，帶角度鎖定旋鈕）。

●  卡盤X，Y軸調節旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動，移動范圍為4"X4"（6"X6"，8"X8"），移動精度為20um，配合針座的移動可以保證wafer上的die都能夠準確點測到。

2、儀器各部件名稱：

        （傾仰夾頭）      →   
          

                      （面的夾頭按需要可上下調節）

     （將此滑套往后推，用鑷子夾住探針推入夾針孔內）   →         

       (將鎖緊螺母擰松，將夾具桿推入合適的位置)

CL-6探針測試臺配件

1、高倍率金相顯微鏡（選配）

2、體式顯微鏡  （可選配高倍率晶相顯微鏡）

產品參數和特點：

①　鑒別力高，視場范圍大，景深長。

②　工作距離長至115mm。

③　左右目鏡屈光度可調正負5度，能滿足不同視力的操作者觀察。

④　 能隨意調節手輪的力矩，滿足不同操作者的使用習慣，更可以鎖定手輪，方便定倍觀察。

⑤　本顯微鏡為連續變倍，變倍比為6.3：1 ，物鏡變倍范圍0.8X-5X。

⑥　 雙目觀察傾斜45度，雙瞳距調節范圍52-75mm.

產品優點：

產品造型比較新穎。

機械特性優越，操作舒適度高。

光學系統鑒別力達300線對以上，符合際標準。

超長的工作距離位于內同行之。

獨有的3A設計。

創見性人機學設計，產品細節考慮全面。


3A特性：
密封性－－－－－－-防塵,防油防水污染
此種接口密封性設計能安全防塵防油防水或其它污染－－－－-這就減少了常規的維護,從而降低了總的費用.
防霉性－－－－－－使其同樣適用于悶熱或潮濕的環境
此獨有的設計保證了顯微鏡在高溫或是潮濕下都能安然無恙
防靜電－－－－－－防靜電設計可以釋放顯微鏡內不斷產生的靜電,防止標本被損壞,保證提高產量和降低產品成本
應用域：
教學示范，生物工程,IT產業檢測，材料分析等域。


 

3、針座和探針夾具（可選）

4、JVC模擬CCD

特點

l 1/3寸CCD,44萬像素

l 535電視線的水平分辨率

l 0.7Lux的低照度（F1.2，25%，AGC開啟）

l 50dB的高信噪比（AGC OFF）

l 內置10bit 數字圖像處理器

Winfast XP100視頻采集卡  

特性

l 可選擇的影像來源信號

可以提供不同的輸入端子，使其能夠連接不同的影像

輸出設備，如錄放影機、***庭攝影機、雷射光碟機、

影音光碟機及CCD攝影機，提供全方位的解決方案。                        

l 可編輯剪接影像片段

可以從輸入的影像來源做即時的動態捕捉或靜態補捉，并存成電腦可以接受并編輯的AVI電影檔或般的圖形檔，再透過類似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相關應用軟體，便可加入各種***與剪接編輯

5、電信測試系統

Triaxial線纜

 臺灣BEST探針夾具

 管狀夾具

彈簧夾具
 

螺旋夾具




 

Triaxial 轉接頭  


 

6、探針

美GGB

型號	針尖直徑	針桿直徑	針長	材質	根/盒
軟針類:適用于集成電路內部線路點針
T-4-5	0.2 微米	0.51mm	51mm	硬鎢材質	5
	0.2微米直徑的針須焊接于鎳質針桿上
T-4-10	0.7 微米	0.51mm	51mm	硬鎢材質	5
	0.7 微米針須焊接于鎳質針桿上
硬針類:適用于集成電路電點針
ST-20-0.5	1 微米	0.51mm	38mm	硬鎢材質	10
ST-20-1.0	2 微米	0.51mm	38mm	硬鎢材質	10
ST-20-2.0	5 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬鎢/鈹銅材質	10
ST-20-5.0	10 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬鎢/鈹銅材質	10
ST-20-10	20 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬鎢/鈹銅材質	10

7、空泵

日東工器VP0125

規格：

l 電壓：AC220V

l 流量：7L/min            

l 空度：-60KPa

l 質量：0.7Kg

功能

l 提供空動力源。

l 配合 CHUCK上的空吸附孔來固定樣品。

l 配合空吸附型探針座，固定探針座。

特點

● 無油靜音，特別適合實驗室和潔凈室使用。

● 7升/分鐘，可24小時無間斷運轉。

8、防震桌   

特點：隔振支撐采用超薄復合材料氣囊、自定心準無摩擦球頭擺桿和帶附加擴散口的多小孔準層流阻尼技術，隔振性能良好。自動水平，自動充氣，全部氣動執行元件采用德FEST0產品，靜音空氣壓縮機氣源、噪聲低。

應用范圍：適用于對振動要求高的場所。 如光電測量、全息成像、光柵制作等。輕松 調節,結構穩定可靠。

技術參數：

臺面為三層夾心蜂窩狀支撐結構，采用ICR17優質高導磁不銹鋼

平臺表面粗糙度0.5?0.6 um

平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2 

固有頻率1.5 ~2 Hz

振幅小于1 um

重復定位精度±0.10 mm

工作壓力0.2~0.6(Mpa)

           
尺寸可根據客戶需求定制

9、屏蔽箱   

CINDBEST CB-6（選配）

參數和特點

●  尺寸：880mm寬x710mm長x1140mm高

●  屏蔽光線和電磁干擾。

●  匹配探針臺和防震桌設計。

●  可根據客戶定制。

●  與探針夾具配合可將測試電信號的漏電精度達到100fa ，可抗2000V高壓。

●  屏蔽箱上配備轉接頭，便于在關閉屏蔽箱時線路在箱內外的良好連接。

10、品牌型號：CINDBEST  HT-400-4

3.1  4英寸卡盤

3.2  直流電源低噪音

3.3  空吸附：1.中央吸附孔 2.二英寸盤面 3.四英寸盤面

3.4  PID溫度控制器分辨率:1℃

3.5  溫度漂移：≤0.01%FS/℃

3.6  溫度誤差：室溫加溫到300度，任何區段+-1%

3.7  40段程序編排，30段具備自動跳轉功能

CL-6探針測試臺的使用方法

1、 將樣品載入空卡盤，開啟空閥門控制開關，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。

2、 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。

3、 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。

4、 顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調節清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。

5、 待測點位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進行下針，后則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經接觸。

6、 確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試。

探針座點針測試

 1、 固定樣品

將待測器件載入卡盤，調整好待測位置后,開啟空閥門控制開關，將WAFER/芯片或其它樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。

2、觀測待測位置

打開光源，調整光源合適的亮度，使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將待觀察點移動至顯微鏡下，同時調節顯微鏡的倍率，先可放到低倍率找到待測點，使用樣平臺X-Y平移將待測點移動到視野正中間，再更換高倍率物鏡，將影像調節清晰。

3、 點針

待測點位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座上下左右三個旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進行下針，當視野中針尖有向移動的趨勢，證明已經接觸。（也可以使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經接觸）

4、測試

確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試。

CL-6探針測試臺的注意事項

 當您使用本儀器時，可能會碰到些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。

CL-6探針測試臺的維護和保養

1、 電源使用

電源：220±10%，50—60Hz

2、 避免碰撞

探針臺所使用的牙具為是非常精密的機械部件，在使用和運輸過程中務必注意輕拿輕放，嚴禁磕碰，以免損壞儀器或影響機械精度。

3、環境控制

使用佳溫度范圍為5℃～40℃，佳濕度是40%到85%，空氣中之濕度若低于30%以下，可靠濕度控制器予以控制，使維持50%～60%之范圍。使用時門窗盡可能關閉，使室內達到除濕效果。機體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機器發生故障或異常異音。

4、 機臺清潔

● 每次使用完畢后，需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免泥沙等污物將接口堵塞導致接觸不良。

● 探針臺機體清潔時，避免直接潑水清理，以濕布輕輕擦拭并吹干即可。機體表面有黏著物，可用肥皂水清洗，避免以汽油、石油精、溶劑或噴霧式殺蟲劑噴之，以避免發生變色現象。不可用硬物接觸機器，以免發生故障或危險。停電或長期不用、外出旅行時，請將電源線插頭拔掉以維護機器壽命.

● 定期使用潤滑油或潤滑脂對活動結構進行清潔和保護。

● U型平臺要定期用無水酒精清洗，使用防銹油浸泡天，然后再使用無水酒精擦拭干凈。

5、不要隨意拆卸

不當的拆卸可能造成儀器損壞或降低精度與性能，因此，除非是特別指定可以拆開的部位，否則不要隨意拆卸機械結構。