CM系列探針臺

產品簡介

CM系列 探針臺造型小巧，測量精度高，操作方便，符合人機工程學。主要應用于半導體行業以及光電行業的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發。

CM探針臺能夠勝任的測試有：

二、工作環境

l 探針臺應放在穩定可靠的臺面上，是具有防震裝置的工作臺上，避免在高溫，潮濕激烈震動，陽光直接照射和灰塵較多的環境下使用。

l 使用*佳溫度范圍為5℃～40℃，*佳濕度是40%到85%，空氣中之濕度若低于30%以下，可靠濕度控制器予以控制，使維持50%～60%之范圍。使用時門窗盡可能關閉，使室內達到除濕效果。

l 使用電源：220±10%，50~60Hz

三、技術參數：

1、主要性能參數：

探針夾具安裝：

● 使用配套螺絲將夾具傾仰安裝固定到探針座上，可以根據需要進行上下調節位置

● 將探針座擺放在U型平臺上固定好，擰松傾仰夾頭4個螺絲，把夾具金屬桿放入限位孔內，調整合適位置后擰緊螺絲

● 用鑷子夾住探針中部，將彈簧夾具的彈簧壓縮至探針固定孔露出，將探針插入固定孔，調整好位置后放松彈簧（注意：操作過程中不要觸碰到針尖，否則針尖會變彎）

                

                 （傾仰夾頭）                               （夾頭按需要可上下調節）

      （將此滑套往后推，用鑷子夾住探針推入夾針孔內）         （將鎖緊螺母擰松，將夾具桿推入合適的位置）

配件

1、體式顯微鏡  （可選配高倍率晶相顯微鏡）

產品參數和特點：

①　鑒別力高，視場范圍大，景深長。

②　工作距離長至115mm。

③　左右目鏡屈光度可調正負5度，能滿足不同視力的操作者觀察。

④　 能隨意調節手輪的力矩，滿足不同操作者的使用習慣，更可以鎖定手輪，方便定倍觀察。

⑤　本顯微鏡為連續變倍，變倍比為6.3：1 ，物鏡變倍范圍0.8X-5X。

⑥　 雙目觀察傾斜45度，雙瞳距調節范圍52-75mm.

產品優點：

產品造型比較新穎。

機械特性優越，操作舒適度高。

光學系統鑒別力達300線對以上，符合標準。

超長的工作距離位于***內同行之***。

獨有的3A設計。

創見性人機學設計，產品細節考慮全面。

3A特性：
密封性－－－－－－-防塵,防油防水污染
此種接口密封性設計能安全防塵防油防水或其它污染－－－－-這就減少了常規的維護,從而降低了總的費用.
防霉性－－－－－－使其同樣適用于悶熱或潮濕的環境
此獨有的設計保證了顯微鏡在高溫或是潮濕下都能安然無恙
防靜電－－－－－－防靜電設計可以釋放顯微鏡內不斷產生的靜電,防止標本被損壞,保證提高產量和降低產品成本
應用領域：
教學示范，生物工程,IT產業檢測，材料分析等領域。

2、針座和探針夾具（可選）

3、JVC模擬CCD

特點

l 1/3寸CCD,44萬像素

l 535電視線的水平分辨率

l 0.7Lux的照度（F1.2，25%，AGC開啟）

l 50dB的高信噪比（AGC OFF）

l 內置10bit 數字圖像處理器

Winfast XP100視頻采集卡  

特性

l 可選擇的影像來源信號

可以提供不同的輸入端子，使其能夠連接不同的影像

輸出設備，如錄放影機、***庭攝影機、雷射光碟機、

影音光碟機及CCD攝影機，提供全方位的解決方案。                        

l 可編輯剪接影像片段

可以從輸入的影像來源做即時的動態捕捉或靜態補捉，并存成電腦可以接受并編輯的AVI電影檔或***般的圖形檔，再透過類似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相關應用軟體，便可加入各種***與剪接編輯

4、探針夾具

●  彈簧式 

使用便利，可用于較短時間的大電流（超過1安培）穩定性好，采用進口同軸線纜，精度漏電為10PA，輸出BNC（male）接頭

●  管狀式

測量微弱電流用，同時可接高壓，采用進口triax線纜，前端管裝屏蔽結構，漏電小于100FA，高壓可耐1000V（需要配合屏蔽箱）

5、探針

美***GGB

型號	針尖直徑	針桿直徑	針長	材質	根/盒
軟針類:適用于集成電路內部線路點針
T-4-5	0.2 微米	0.51mm	51mm	硬鎢材質	5
	0.2微米直徑的針須焊接于鎳質針桿上
T-4-10	0.7 微米	0.51mm	51mm	硬鎢材質	5
	0.7 微米針須焊接于鎳質針桿上
硬針類:適用于集成電路電極點針
ST-20-0.5	1 微米	0.51mm	38mm	硬鎢材質	10
ST-20-1.0	2 微米	0.51mm	38mm	硬鎢材質	10
ST-20-2.0	5 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬鎢/鈹銅材質	10
ST-20-5.0	10 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬鎢/鈹銅材質	10
ST-20-10	20 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬鎢/鈹銅材質	10

6、真空泵

日東工器VP0125

規格：

l 電壓：AC220V

l 流量：7L/min            

l 真空度：-60KPa

l 質量：0.7Kg

功能

l 提供真空動力源。

l 配合 CHUCK上的真空吸附孔來固定樣品。

l 配合真空吸附型探針座，固定探針座。

特點

● 無油靜音，特別適合實驗室和潔凈室使用。

● 7升/分鐘，可24小時無間斷運轉。

7、防震桌      

特點：隔振支撐采用超薄復合材料氣囊、自定心準無摩擦球頭擺桿和帶附加擴散口的多小孔準層流阻尼技術，隔振性能良好。自動水平，自動充氣，全部氣動執行元件采用德***FEST0產品，靜音空氣壓縮機氣源、噪聲低。

應用范圍：適用于對振動要求高的場所。 如光電測量、全息成像、光柵制作等。輕松 調節,結構穩定可靠。

技術參數：

臺面為三層夾心蜂窩狀支撐結構，采用ICR17優質高導磁不銹鋼

平臺表面粗糙度0.5?0.6 um

平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2 

固有頻率1.5 ~2 Hz

振幅小于1 um

重復定位精度±0.10 mm

工作壓力0.2~0.6(Mpa)

具體尺寸可根據客戶需求定制

8、屏蔽箱   

CINDBEST CB-6

 參數和特點

l 尺寸：880mm寬x710mm長x1140mm高

l 屏蔽光線和電磁干擾。

l 匹配探針臺和防震桌設計。

l 與探針夾具配合可將測試電信號的漏電精度達到100fa ，可抗2000V高壓。

l 屏蔽箱上配備轉接頭，便于在關閉屏蔽箱時線路在箱內外的良好連接。

l 上掀式結構，節約空間，操作便捷。

l 可根據客戶需求定制。

探針臺的使用方法

1、 將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。

2、 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。

3、 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。

4、 顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調節清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。

5、 待測點位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進行下針，*后則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經接觸。

6、 確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試。

常見問題

 當您使用本儀器時，可能會碰到***些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。

注意事項

1、避免碰撞

l 在安裝，操作CS探針臺時應避免碰撞，機體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機器發生故障或異常異音。

2、儀器的運輸

l 儀器運輸時，請先拔掉電源線插頭。

l 儀器運輸應使用專門的包裝箱，避免碰到探針臺的任何運動部件。

3、儀器的存放

l 使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機械精密部件，光學部件，電學接觸面污染，導致儀器精度降低。

l 探針臺機體清潔時，避免直接潑水清理，以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機器，以免發生故障或危險。

l 探針臺光學部件清潔時，可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無水酒精時易燃物，注意使用安全。

l 停電或長期不用、外出旅行時，請將電源線插頭拔掉以維護機器壽命.

l 操作人員必須嚴格按要求操作，以保證數據的準確和儀器的正常使用。