產(chǎn)品簡(jiǎn)介
IGBT高壓大電流探針臺(tái)規(guī)格如下：
卡盤(pán)
? 6" 卡盤(pán)，采用中心吸附孔和3圈吸附環(huán)固定樣品，分別由3個(gè)開(kāi)關(guān)獨(dú)立控制
? 卡盤(pán)X-Y的移動(dòng)范圍 6＇＇X6＇＇，移動(dòng)精度：10微米
? 卡盤(pán)可以 360 度旋轉(zhuǎn)，細(xì)調(diào)精度不大于 0.1 度，帶有鎖定旋鈕
? Chuck 漏電低于 100fA ， 平坦度誤差小于 5um 。
? Chuck 鍍金，用于做背電極,可以進(jìn)行雙面測(cè)試
? 卡盤(pán)臺(tái)可以上下快速升降4mm，便于樣品快速分離探針
配件
進(jìn)口高壓大電流探針座
? 精度2微米
? 調(diào)節(jié)架可進(jìn)行30度以?xún)?nèi)的角度調(diào)節(jié)
? 高壓大電流測(cè)試適用
SHV高壓夾具
? 2.1m線纜（銅管TubulerType）接頭和客戶(hù)設(shè)備配
? 50Ω阻抗，測(cè)試頻率直流-100Mhz
SHV高壓大電流探針
? 電流范圍0-10A
? 電壓范圍0-2kV
? 漏電精度100fA
配備屏蔽箱
? 有效屏蔽信號(hào)干擾和漏電，提升測(cè)試精度
? 防止意外觸電
探針臺(tái)的使用方法
1、 將樣品載入真空卡盤(pán)，開(kāi)啟真空閥門(mén)控制開(kāi)關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤(pán)上。
2、 使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
3、 使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。
4、 顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。
5、 待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢，以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí)，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，*后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng)，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸。
6、 確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后，則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試。
常見(jiàn)問(wèn)題
當(dāng)您使用本儀器時(shí)，可能會(huì)碰到***些問(wèn)題，下表列舉了常見(jiàn)的故障及解決方法。
癥狀 | 可能原因 | 解決方法 |
移動(dòng)樣品后畫(huà)面變模糊 | 顯微鏡不垂直 | 調(diào)垂直顯微鏡 |
樣品臺(tái)不水平 | 調(diào)水平樣品臺(tái) |
樣品不平 | |
顯微鏡視場(chǎng)亮度不足，邊緣切割或看不到像 | 轉(zhuǎn)換器不在定位位置上 | 把轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)到定位位置上 |
管鏡轉(zhuǎn)盤(pán)不在定位位置上 | 把管鏡轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)到定位位置上 |
照明的亮度不足 | 調(diào)節(jié)光源亮度或者把孔徑光欄孔調(diào)大 |
沒(méi)有裝目鏡 | 裝上目鏡 |
沒(méi)有裝物鏡 | 裝上物鏡 |
顯微鏡像質(zhì)變差 | 目鏡臟 物鏡臟 管鏡臟 | 對(duì)目鏡，物鏡，管鏡臟的地方進(jìn)行清潔 |
孔徑光欄關(guān)的太大或者太小 | 調(diào)節(jié)孔徑光欄 |
沒(méi)有調(diào)好焦 | 調(diào)節(jié)調(diào)焦手輪 |
樣本上蓋有蓋玻片等介質(zhì) | 移開(kāi)蓋玻片等介質(zhì) |
圖像***邊清晰，***邊模糊 | 樣本傾斜放置 | 放平樣本，或者調(diào)節(jié)樣品臺(tái)水平 |
物鏡沒(méi)有旋緊 | 旋緊物鏡 |
眼睛容易疲勞 | 雙目頭的瞳距和操作者不匹配 | 調(diào)節(jié)雙目頭的瞳距 |
| 目鏡視度調(diào)節(jié)不正確 | 調(diào)節(jié)目鏡視度 |
| 照明亮度不合適 | 調(diào)節(jié)光源亮度或者孔徑光欄孔 |
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