CL系列 分為CL-4，CL-6，CL-8三個規格
CL系列探針臺測量精度高，操作方便，符合人機工程學。主要應用于半導體行業以及光電行業的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發。
2、儀器各部件名稱：
（傾仰夾頭） →
（面的夾頭按需要可上下調節）
（將此滑套往后推，用鑷子夾住探針推入夾針孔內） → 
(將鎖緊螺母擰松，將夾具桿推入合適的位置)
CL-6探針測試臺配件
1、高倍率金相顯微鏡（選配）
PSM-1000 工業顯微鏡 采用全新的體化設計，具有優異的光學成像質量，造型新穎，使用方便，并具有豐富的擴展功能，可以廣泛應用于冶金、半導體、電子等行業的制造和研究域。 |
人機工程頭部 PSM-1000E雙目觀察頭可以在3-30 轉動，調整觀察眼點的高度和觀察方向，使操作者的使用更加舒適。  | 管鏡 PSM-1000 的管鏡轉盤上裝有1X NUV 、1X NIR 和2X 管鏡，三組管鏡之間可以根據需要進行切換，切換簡單、方便。其中1X NUV 對355nm 和532nm 波長進行了優化，1X NIR 對532nm 和1064nm 波長進行了優化，當使用這3 個波長的激光器時，可以得到更好的激光透過率。  |
光路切換拉桿 通過推拉光路轉換拉桿可以方便的對光路進行切換。當轉換拉桿往外拉時，雙目頭和攝像接口的分光比為0： 100 ，此時從攝像接口上入射的激光*** 的進入光路，提高了激光效率；當轉換器拉桿往里推時，雙目頭和攝像接口的分光比為50：50 ，此時即可用雙目頭觀察，同時也可以在攝像接口上使用CCD 攝像頭或激光器。
 | 偏光觀察 主體上留有偏光插孔，插上偏光附件(選配件)，可進行偏光觀察。  |
調焦機構 PSM-1000 的調焦機構轉動舒適，工作可靠。調焦機構大可承載45 磅(20.4Kg) ，確保安裝激光器和CCD 攝像頭后，仍然能夠正常工作。
 | 轉換器 PSM-1000 采用4孔可調中轉換器，使用隨機配送的調中鑰匙，可以很方便地調整物鏡的齊中。  |
物鏡 PSM-1000 采用長工作距離的無應力平場復消色差物鏡，提供了優異的成像質量。關于物鏡的具體參數請參照APO 物鏡樣本。
 | 照明系統 采用同軸垂直照明系統，光源采用外置冷光源。長達2m 的照明光纖和光源遙控器(選配件)給PSM-1000 帶來更自由的操作空間。  |
激光裝置 PSM-1000 的攝像接口處裝有激光安全定位銷，雙目頭留有安裝激光安全濾色片的位置，并提供補償墊片。無需用的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上。 注: 在安裝和使用激光器之，請您仔細閱讀激光器和激光安全濾色片的使用手冊。 
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2、體式顯微鏡 （可選配高倍率晶相顯微鏡）
產品參數和特點：
① 鑒別力高，視場范圍大，景深長。
② 工作距離長至115mm。
③ 左右目鏡屈光度可調正負5度，能滿足不同視力的操作者觀察。
④ 能隨意調節手輪的力矩，滿足不同操作者的使用習慣，更可以鎖定手輪，方便定倍觀察。
⑤ 本顯微鏡為連續變倍，變倍比為6.3：1 ，物鏡變倍范圍0.8X-5X。
⑥ 雙目觀察傾斜45度，雙瞳距調節范圍52-75mm.
產品優點：
產品造型比較新穎。
機械特性優越，操作舒適度高。
光學系統鑒別力達300線對以上，符合際標準。
超長的工作距離位于內同行之。
獨有的3A設計。
創見性人機學設計，產品細節考慮全面。
3A特性：
密封性－－－－－－-防塵,防油防水污染
此種接口密封性設計能安全防塵防油防水或其它污染－－－－-這就減少了常規的維護,從而降低了總的費用.
防霉性－－－－－－使其同樣適用于悶熱或潮濕的環境
此獨有的設計保證了顯微鏡在高溫或是潮濕下都能安然無恙
防靜電－－－－－－防靜電設計可以釋放顯微鏡內不斷產生的靜電,防止標本被損壞,保證提高產量和降低產品成本
應用域：
教學示范，生物工程,IT產業檢測，材料分析等域。
3、針座和探針夾具（可選）
針座規格 | BT-200型 | BT-100型 | BT-40-T型 | BT-40型 |
尺寸 | 90mmW x 130mmD x 90mmH | 90mmW x 130mmD x 90mmH | 52mmW x 96mmD x 76mmH | 38mmW x 62mmD x 45mmH |
重量 | 1000 克 | 600 克 | 300克 | 200 克 |
精度 | 0.35 Micron | 0.7 Micron | 2 Micron | 10 Micron |
牙具 | 200牙/寸 | 牙具 100牙/寸 | 40牙/寸 | 40牙/寸 |
X-Y-Z線性行程 | 12mmX12mmX12mm | 12mmX12mmX12mm | 12mmX12mmX12mm | 12mmX12mmX12mm |
4、JVC模擬CCD
特點
l 1/3寸CCD,44萬像素
l 535電視線的水平分辨率
l 0.7Lux的低照度（F1.2，25%，AGC開啟）
l 50dB的高信噪比（AGC OFF）
l 內置10bit 數字圖像處理器
Winfast XP100視頻采集卡
特性
l 可選擇的影像來源信號
可以提供不同的輸入端子，使其能夠連接不同的影像
輸出設備，如錄放影機、***庭攝影機、雷射光碟機、
影音光碟機及CCD攝影機，提供全方位的解決方案。
l 可編輯剪接影像片段
可以從輸入的影像來源做即時的動態捕捉或靜態補捉，并存成電腦可以接受并編輯的AVI電影檔或般的圖形檔，再透過類似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相關應用軟體，便可加入各種***與剪接編輯
5、電信測試系統
Triaxial線纜
臺灣BEST探針夾具
管狀夾具
彈簧夾具
螺旋夾具
Triaxial 轉接頭
6、探針
美GGB
型號 | 針尖直徑 | 針桿直徑 | 針長 | 材質 | 根/盒 |
軟針類:適用于集成電路內部線路點針 
|
T-4-5 | 0.2 微米 | 0.51mm | 51mm | 硬鎢材質 | 5 |
0.2微米直徑的針須焊接于鎳質針桿上 | |
T-4-10 | 0.7 微米 | 0.51mm | 51mm | 硬鎢材質 | 5 |
0.7 微米針須焊接于鎳質針桿上 | |
硬針類:適用于集成電路電點針 
|
ST-20-0.5 | 1 微米 | 0.51mm | 38mm | 硬鎢材質 | 10 |
ST-20-1.0 | 2 微米 | 0.51mm | 38mm | 硬鎢材質 | 10 |
ST-20-2.0 | 5 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬鎢/鈹銅材質 | 10 |
ST-20-5.0 | 10 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬鎢/鈹銅材質 | 10 |
ST-20-10 | 20 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬鎢/鈹銅材質 | 10 |
7、空泵
日東工器VP0125
規格：
l 電壓：AC220V
l 流量：7L/min
l 空度：-60KPa
l 質量：0.7Kg
功能
l 提供空動力源。
l 配合 CHUCK上的空吸附孔來固定樣品。
l 配合空吸附型探針座，固定探針座。
特點
● 無油靜音，特別適合實驗室和潔凈室使用。
● 7升/分鐘，可24小時無間斷運轉。
8、防震桌
特點：隔振支撐采用超薄復合材料氣囊、自定心準無摩擦球頭擺桿和帶附加擴散口的多小孔準層流阻尼技術，隔振性能良好。自動水平，自動充氣，全部氣動執行元件采用德FEST0產品，靜音空氣壓縮機氣源、噪聲低。
應用范圍：適用于對振動要求高的場所。 如光電測量、全息成像、光柵制作等。輕松 調節,結構穩定可靠。
技術參數：
臺面為三層夾心蜂窩狀支撐結構，采用ICR17優質高導磁不銹鋼
平臺表面粗糙度0.5?0.6 um
平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2
固有頻率1.5 ~2 Hz
振幅小于1 um
重復定位精度±0.10 mm
工作壓力0.2~0.6(Mpa)
尺寸可根據客戶需求定制
9、屏蔽箱
CINDBEST CB-6（選配）
參數和特點
● 尺寸：880mm寬x710mm長x1140mm高
● 屏蔽光線和電磁干擾。
● 匹配探針臺和防震桌設計。
● 可根據客戶定制。
● 與探針夾具配合可將測試電信號的漏電精度達到100fa ，可抗2000V高壓。
● 屏蔽箱上配備轉接頭，便于在關閉屏蔽箱時線路在箱內外的良好連接。
10、品牌型號：CINDBEST HT-400-4
3.1 4英寸卡盤
3.2 直流電源低噪音
3.3 空吸附：1.中央吸附孔 2.二英寸盤面 3.四英寸盤面
3.4 PID溫度控制器分辨率:1℃
3.5 溫度漂移：≤0.01%FS/℃
3.6 溫度誤差：室溫加溫到300度，任何區段+-1%
3.7 40段程序編排，30段具備自動跳轉功能
CL-6探針測試臺的使用方法
1、 將樣品載入空卡盤，開啟空閥門控制開關，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。
2、 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
3、 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。
4、 顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調節清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。
5、 待測點位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進行下針，后則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經接觸。
6、 確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試。
探針座點針測試
1、 固定樣品
將待測器件載入卡盤，調整好待測位置后,開啟空閥門控制開關，將WAFER/芯片或其它樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。
2、觀測待測位置
打開光源，調整光源合適的亮度，使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將待觀察點移動至顯微鏡下，同時調節顯微鏡的倍率，先可放到低倍率找到待測點，使用樣平臺X-Y平移將待測點移動到視野正中間，再更換高倍率物鏡，將影像調節清晰。
3、 點針
待測點位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座上下左右三個旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進行下針，當視野中針尖有向移動的趨勢，證明已經接觸。（也可以使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經接觸）
4、測試
確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試。
CL-6探針測試臺的注意事項
當您使用本儀器時，可能會碰到些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。
癥狀 | 可能原因 | 解決方法 |
移動樣品后畫面變模糊 | 顯微鏡不垂直 | 調垂直顯微鏡 |
樣品臺不水平 | 調水平樣品臺 |
樣品不平 | |
顯微鏡視場亮度不足，邊緣切割或看不到像 | 轉換器不在定位位置上 | 把轉換器轉到定位位置上 |
管鏡轉盤不在定位位置上 | 把管鏡轉盤轉到定位位置上 |
照明的亮度不足 | 調節光源亮度或者把孔徑光欄孔調大 |
沒有裝目鏡 | 裝上目鏡 |
沒有裝物鏡 | 裝上物鏡 |
顯微鏡像質變差 | 目鏡臟 物鏡臟 管鏡臟 | 對目鏡，物鏡，管鏡臟的地方進行清潔 |
孔徑光欄關的太大或者太小 | 調節孔徑光欄 |
沒有調好焦 | 調節調焦手輪 |
樣本上蓋有蓋玻片等介質 | 移開蓋玻片等介質 |
圖像邊清晰，邊模糊 | 樣本傾斜放置 | 放平樣本，或者調節樣品臺水平 |
物鏡沒有旋緊 | 旋緊物鏡 |
眼睛容易疲勞 | 雙目頭的瞳距和操作者不匹配 | 調節雙目頭的瞳距 |
| 目鏡視度調節不正確 | 調節目鏡視度 |
| 照明亮度不合適 | 調節光源亮度或者孔徑光欄孔 |
CL-6探針測試臺的維護和保養
1、 電源使用
電源：220±10%，50—60Hz
2、 避免碰撞
探針臺所使用的牙具為是非常精密的機械部件，在使用和運輸過程中務必注意輕拿輕放，嚴禁磕碰，以免損壞儀器或影響機械精度。
3、環境控制
使用佳溫度范圍為5℃～40℃，佳濕度是40%到85%，空氣中之濕度若低于30%以下，可靠濕度控制器予以控制，使維持50%～60%之范圍。使用時門窗盡可能關閉，使室內達到除濕效果。機體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機器發生故障或異常異音。
4、 機臺清潔
● 每次使用完畢后，需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免泥沙等污物將接口堵塞導致接觸不良。
● 探針臺機體清潔時，避免直接潑水清理，以濕布輕輕擦拭并吹干即可。機體表面有黏著物，可用肥皂水清洗，避免以汽油、石油精、溶劑或噴霧式殺蟲劑噴之，以避免發生變色現象。不可用硬物接觸機器，以免發生故障或危險。停電或長期不用、外出旅行時，請將電源線插頭拔掉以維護機器壽命.
● 定期使用潤滑油或潤滑脂對活動結構進行清潔和保護。
● U型平臺要定期用無水酒精清洗，使用防銹油浸泡天，然后再使用無水酒精擦拭干凈。
5、不要隨意拆卸
不當的拆卸可能造成儀器損壞或降低精度與性能，因此，除非是特別指定可以拆開的部位，否則不要隨意拆卸機械結構。
滬公網安備31011502016460號
