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特點

舒適大手柄驅(qū)動CHUCK

可以升***做射頻測試

20X~4000X 光學(xué)顯微放大

無后座力移動

針座平臺可以快速升降便于wafer取放

針座平臺可以微調(diào)升降便于探針卡再定位

規(guī)格

真空吸附型Chuck

8" 不銹鋼

Chuck X-Y軸行程

8" x8"

Chuck 旋轉(zhuǎn)角度

0~360 度

針座平臺上下粗調(diào)行程

6mm   通過升降桿調(diào)整

針座平臺上下細(xì)粗行程

25 mm 通過旋轉(zhuǎn)手輪

針座平臺

可以放置8個針座

顯微鏡X-Y軸行程

2" x2"

需求

電力

220 VAC, 60Hz

真空

-250 mmHg, 7 liter/min

尺寸

840mm長 x 660mm寬 x 700mm高（帶顯微鏡）

重 180 Kg（帶顯微鏡）

可選附件

Chuck快速拉出裝置

顯微鏡傾仰裝置

激光修復(fù)

探針卡夾具

加熱臺

高低溫樣品臺（-80-200℃）

防震桌

顯微鏡暗場 / Normarski 檢測

帶真空底座的活動Chuck

光強/波長測試接口部件

射頻測試探頭和線纜

有源探頭

 低電流/電容測試

高壓測試/大電流測試

CCD視頻系統(tǒng)

封裝器件夾具

PCB板夾具

液晶熱點偵測套裝

屏蔽箱

鍍金Chuck